ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳ ಅನ್ವಯ.

909 ಪ್ರಾಜೆಕ್ಟ್ ವೆರಿ ಲಾರ್ಜ್ ಸ್ಕೇಲ್ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಫ್ಯಾಕ್ಟರಿ ಒಂಬತ್ತನೇ ಪಂಚವಾರ್ಷಿಕ ಯೋಜನೆಯ ಅವಧಿಯಲ್ಲಿ ನನ್ನ ದೇಶದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದ ಪ್ರಮುಖ ನಿರ್ಮಾಣ ಯೋಜನೆಯಾಗಿದ್ದು, 0.18 ಮೈಕ್ರಾನ್‌ಗಳ ಲೈನ್ ಅಗಲ ಮತ್ತು 200 ಮಿಮೀ ವ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಚಿಪ್‌ಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.

ಅತಿ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಮೈಕ್ರೋ-ಮೆಷಿನಿಂಗ್‌ನಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವುದಲ್ಲದೆ, ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮೇಲೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಇರಿಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಾಜೆಕ್ಟ್ 909 ಗಾಗಿ ಬೃಹತ್ ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ಯುನೈಟೆಡ್ ಸ್ಟೇಟ್ಸ್‌ನ ಪ್ರಾಕ್ಸೇರ್ ಯುಟಿಲಿಟಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಕಂ., ಲಿಮಿಟೆಡ್ ಮತ್ತು ಶಾಂಘೈನಲ್ಲಿ ಸಂಬಂಧಿತ ಪಕ್ಷಗಳ ನಡುವಿನ ಜಂಟಿ ಉದ್ಯಮದಿಂದ ಒದಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅನಿಲ ಉತ್ಪಾದನಾ ಘಟಕವು 909 ಯೋಜನೆಯ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಕಟ್ಟಡದ ಪಕ್ಕದಲ್ಲಿದೆ, ಇದು ಸುಮಾರು 15,000 ಚದರ ಮೀಟರ್ ವಿಸ್ತೀರ್ಣವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ವಿವಿಧ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು

ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಾರಜನಕ (PN2), ಸಾರಜನಕ (N2), ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಆಮ್ಲಜನಕ (PO2) ಗಳನ್ನು ಗಾಳಿ ಬೇರ್ಪಡಿಸುವಿಕೆಯಿಂದ ಉತ್ಪಾದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ (PH2) ಅನ್ನು ವಿದ್ಯುದ್ವಿಭಜನೆಯಿಂದ ಉತ್ಪಾದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಆರ್ಗಾನ್ (Ar) ಮತ್ತು ಹೀಲಿಯಂ (He) ಗಳನ್ನು ಹೊರಗುತ್ತಿಗೆ ಮೂಲಕ ಖರೀದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ರಾಜೆಕ್ಟ್ 909 ರಲ್ಲಿ ಬಳಸಲು ಅರೆ-ಅನಿಲವನ್ನು ಶುದ್ಧೀಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಟರ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಿಶೇಷ ಅನಿಲವನ್ನು ಬಾಟಲಿಗಳಲ್ಲಿ ಸರಬರಾಜು ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಸ್ ಬಾಟಲ್ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್ ಅನ್ನು ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಘಟಕದ ಸಹಾಯಕ ಕಾರ್ಯಾಗಾರದಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಇತರ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿ 4185m3/h ಬಳಕೆಯ ಪರಿಮಾಣ, -70°C ಒತ್ತಡದ ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದು ಮತ್ತು ಬಳಕೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಅನಿಲದಲ್ಲಿ 0.01um ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿಲ್ಲದ ಕಣದ ಗಾತ್ರದೊಂದಿಗೆ ಶುದ್ಧ ಒಣ ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿಯ CDA ವ್ಯವಸ್ಥೆಯೂ ಸೇರಿದೆ. ಉಸಿರಾಟದ ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ (BA) ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಬಳಕೆಯ ಪರಿಮಾಣ 90m3/h, ಒತ್ತಡದ ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದು 2℃, ಬಳಕೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಅನಿಲದಲ್ಲಿನ ಕಣದ ಗಾತ್ರ 0.3um ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿಲ್ಲ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿರ್ವಾತ (PV) ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಬಳಕೆಯ ಪರಿಮಾಣ 582m3/h, ಬಳಕೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿ -79993Pa. ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ನಿರ್ವಾತ (HV) ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಬಳಕೆಯ ಪರಿಮಾಣ 1440m3/h, ಬಳಕೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿ -59995 Pa. ಏರ್ ಕಂಪ್ರೆಸರ್ ಕೊಠಡಿ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಕೊಠಡಿ ಎರಡೂ 909 ಯೋಜನೆಯ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿವೆ.

ಪೈಪ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಪರಿಕರಗಳ ಆಯ್ಕೆ
VLSI ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲವು ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳುಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಶುದ್ಧ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಸ್ವಚ್ಛತೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣವು ಬಳಕೆಯಲ್ಲಿರುವ ಸ್ಥಳದ ಸ್ವಚ್ಛತೆಯ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿರಬೇಕು ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನದಾಗಿರಬೇಕು! ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಶುದ್ಧ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಶುದ್ಧ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ (PH2), ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಆಮ್ಲಜನಕ (PO2) ಮತ್ತು ಕೆಲವು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಸುಡುವ, ಸ್ಫೋಟಕ, ದಹನ-ಪೋಷಕ ಅಥವಾ ವಿಷಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳಾಗಿವೆ. ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸದಿದ್ದರೆ ಅಥವಾ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸರಿಯಾಗಿ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡದಿದ್ದರೆ, ಅನಿಲ ಬಿಂದುವಿನಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲದ ಶುದ್ಧತೆ ಕಡಿಮೆಯಾಗುವುದಲ್ಲದೆ, ಅದು ವಿಫಲಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಬಳಸಲು ಅಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧ ಕಾರ್ಖಾನೆಗೆ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ, ಶುದ್ಧ ಕಾರ್ಖಾನೆಯ ಸುರಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
ಬಳಕೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲದ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಖಾತರಿಯು ಅನಿಲ ಉತ್ಪಾದನೆ, ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ, ಜೊತೆಗೆ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿನ ಅನೇಕ ಅಂಶಗಳಿಂದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ನಾವು ಅನಿಲ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳು, ಶುದ್ಧೀಕರಣ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿದ್ದರೆ, ಅನುಚಿತ ಅನಿಲ ಪೈಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ವಿನ್ಯಾಸ ಅಥವಾ ವಸ್ತು ಆಯ್ಕೆಗೆ ಸರಿದೂಗಿಸಲು ಅನಂತವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ವಿಧಿಸುವುದು ಸರಳವಾಗಿ ತಪ್ಪಾಗಿದೆ.
909 ಯೋಜನೆಯ ವಿನ್ಯಾಸ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ನಾವು "ಸ್ವಚ್ಛ ಸಸ್ಯಗಳ ವಿನ್ಯಾಸಕ್ಕಾಗಿ ಕೋಡ್" GBJ73-84 (ಪ್ರಸ್ತುತ ಮಾನದಂಡ (GB50073-2001)), "ಸಂಕುಚಿತ ವಾಯು ಕೇಂದ್ರಗಳ ವಿನ್ಯಾಸಕ್ಕಾಗಿ ಕೋಡ್" GBJ29-90, "ಆಮ್ಲಜನಕ ಕೇಂದ್ರಗಳ ವಿನ್ಯಾಸಕ್ಕಾಗಿ ಕೋಡ್" GB50030-91, "ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ ಕೇಂದ್ರಗಳ ವಿನ್ಯಾಸಕ್ಕಾಗಿ ಕೋಡ್" GB50177-93, ಮತ್ತು ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಪರಿಕರಗಳ ಆಯ್ಕೆಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ ತಾಂತ್ರಿಕ ಕ್ರಮಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸಿದ್ದೇವೆ. "ಸ್ವಚ್ಛ ಸಸ್ಯಗಳ ವಿನ್ಯಾಸಕ್ಕಾಗಿ ಕೋಡ್" ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತೆ ನಿಗದಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ:

(1) ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯು 99.999% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿದ್ದರೆ ಅಥವಾ ಸಮಾನವಾಗಿದ್ದರೆ ಮತ್ತು ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದು -76°C ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿದ್ದರೆ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಯೊಂದಿಗೆ 00Cr17Ni12Mo2Ti ಕಡಿಮೆ-ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್ (316L) ಅಥವಾ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಯೊಂದಿಗೆ OCr18Ni9 ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್ (304) ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು. ಕವಾಟವು ಡಯಾಫ್ರಾಮ್ ಕವಾಟ ಅಥವಾ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟವಾಗಿರಬೇಕು.

(2) ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯು 99.99% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿದ್ದರೆ ಅಥವಾ ಸಮಾನವಾಗಿದ್ದರೆ ಮತ್ತು ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದು -60°C ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿದ್ದರೆ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಒಳ ಗೋಡೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ OCr18Ni9 ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಟ್ಯೂಬ್ (304) ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು. ದಹನಕಾರಿ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳಿಗೆ ಬಳಸಬೇಕಾದ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಹೊರತುಪಡಿಸಿ, ಇತರ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳಿಗೆ ಬಾಲ್ ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು.

(3) ಒಣ ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿಯ ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದು -70°C ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿದ್ದರೆ, ಹೊಳಪುಳ್ಳ ಒಳ ಗೋಡೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ OCr18Ni9 ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್ (304) ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು. ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದು -40°C ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿದ್ದರೆ, OCr18Ni9 ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್ (304) ಅಥವಾ ಹಾಟ್-ಡಿಪ್ ಗ್ಯಾಲ್ವನೈಸ್ಡ್ ಸೀಮ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು. ಕವಾಟವು ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟ ಅಥವಾ ಬಾಲ್ ಕವಾಟವಾಗಿರಬೇಕು.

(4) ಕವಾಟದ ವಸ್ತುವು ಸಂಪರ್ಕಿಸುವ ಪೈಪ್ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗಬೇಕು.

ವಿಶೇಷಣಗಳ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಬಂಧಿತ ತಾಂತ್ರಿಕ ಕ್ರಮಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡುವಾಗ ನಾವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸುತ್ತೇವೆ:

(1) ಪೈಪ್ ವಸ್ತುಗಳ ಗಾಳಿಯ ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆಯು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರಬೇಕು. ವಿಭಿನ್ನ ವಸ್ತುಗಳ ಪೈಪ್‌ಗಳು ವಿಭಿನ್ನ ಗಾಳಿಯ ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಾಳಿಯ ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಿದರೆ, ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ತಾಮ್ರದ ಪೈಪ್‌ಗಳು ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಆಮ್ಲಜನಕದ ನುಗ್ಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸವೆತವನ್ನು ತಡೆಯುವಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮವಾಗಿವೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳು ತಾಮ್ರದ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿರುವುದರಿಂದ, ತಾಮ್ರದ ಪೈಪ್‌ಗಳು ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿನ ತೇವಾಂಶವನ್ನು ಅವುಗಳ ಒಳ ಮೇಲ್ಮೈಗಳಿಗೆ ತೂರಿಕೊಳ್ಳಲು ಹೆಚ್ಚು ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿವೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳಿಗೆ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡುವಾಗ, ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳು ಮೊದಲ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿರಬೇಕು.

(2) ಪೈಪ್ ವಸ್ತುವಿನ ಒಳ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅನಿಲವನ್ನು ವಿಶ್ಲೇಷಿಸುವಲ್ಲಿ ಸಣ್ಣ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್ ಅನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ನಂತರ, ಅದರ ಲೋಹದ ಜಾಲರಿಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಮಾಣದ ಅನಿಲವನ್ನು ಉಳಿಸಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲ ಹಾದುಹೋದಾಗ, ಅನಿಲದ ಈ ಭಾಗವು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ಲೇಷಣೆಯಿಂದಾಗಿ, ಪೈಪ್‌ನ ಒಳ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿರುವ ಲೋಹವು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಮಾಣದ ಪುಡಿಯನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲಕ್ಕೆ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. 99.999% ಅಥವಾ ppb ಮಟ್ಟಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪೈಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ, 00Cr17Ni12Mo2Ti ಕಡಿಮೆ ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್ (316L) ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು.

(3) ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವು ತಾಮ್ರದ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸವೆತದಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಲೋಹದ ಧೂಳು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ. ಶುಚಿತ್ವಕ್ಕಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕಾರ್ಯಾಗಾರಗಳು 00Cr17Ni12Mo2Ti ಕಡಿಮೆ ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳು (316L) ಅಥವಾ OCr18Ni9 ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು (304) ಬಳಸಬಹುದು, ತಾಮ್ರದ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಾರದು.

(4) 99.999% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆ ಅಥವಾ ppb ಅಥವಾ ppt ಮಟ್ಟಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪೈಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ ಅಥವಾ "ಕ್ಲೀನ್ ಫ್ಯಾಕ್ಟರಿ ಡಿಸೈನ್ ಕೋಡ್" ನಲ್ಲಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟಪಡಿಸಿದ N1-N6 ಗಾಳಿಯ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಕ್ಲೀನ್ ಕೊಠಡಿಗಳಲ್ಲಿ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ಪೈಪ್‌ಗಳು ಅಥವಾಇಪಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಕ್ಲೀನ್ ಪೈಪ್‌ಗಳು"ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಸ್ಮೂತ್ ಒಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಹೊಂದಿರುವ ಕ್ಲೀನ್ ಟ್ಯೂಬ್" ಅನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಿ.

(5) ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಕೆಲವು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಹೆಚ್ಚು ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳಾಗಿವೆ. ಈ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿನ ಪೈಪ್‌ಗಳು ತುಕ್ಕು-ನಿರೋಧಕ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು ಪೈಪ್‌ಗಳಾಗಿ ಬಳಸಬೇಕು. ಇಲ್ಲದಿದ್ದರೆ, ಪೈಪ್‌ಗಳು ಸವೆತದಿಂದಾಗಿ ಹಾನಿಗೊಳಗಾಗುತ್ತವೆ. ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ತುಕ್ಕು ಕಲೆಗಳು ಸಂಭವಿಸಿದಲ್ಲಿ, ಸಾಮಾನ್ಯ ತಡೆರಹಿತ ಉಕ್ಕಿನ ಪೈಪ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಕಲಾಯಿ ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಿದ ಉಕ್ಕಿನ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಾರದು.

(6) ತಾತ್ವಿಕವಾಗಿ, ಎಲ್ಲಾ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ಸಂಪರ್ಕಗಳನ್ನು ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಬೇಕು. ಕಲಾಯಿ ಉಕ್ಕಿನ ಪೈಪ್‌ಗಳ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಕಲಾಯಿ ಪದರವನ್ನು ನಾಶಪಡಿಸುವುದರಿಂದ, ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಕೋಣೆಗಳಲ್ಲಿ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಗೆ ಕಲಾಯಿ ಉಕ್ಕಿನ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ.

ಮೇಲಿನ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಿ, &7& ಯೋಜನೆಯಲ್ಲಿ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಲಾದ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ಪೈಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿವೆ:

ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸಾರಜನಕ (PN2) ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು 00Cr17Ni12Mo2Ti ಕಡಿಮೆ-ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ (316L) ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಒಳ ಗೋಡೆಗಳೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಸಾರಜನಕ (N2) ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು 00Cr17Ni12Mo2Ti ಕಡಿಮೆ-ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ (316L) ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಒಳ ಗೋಡೆಗಳೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ (PH2) ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು 00Cr17Ni12Mo2Ti ಕಡಿಮೆ-ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ (316L) ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಒಳ ಗೋಡೆಗಳೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಆಮ್ಲಜನಕ (PO2) ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು 00Cr17Ni12Mo2Ti ಕಡಿಮೆ-ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ (316L) ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ-ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಒಳ ಗೋಡೆಗಳೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಆರ್ಗಾನ್ (Ar) ಸಿಸ್ಟಮ್ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು 00Cr17Ni12Mo2Ti ಕಡಿಮೆ-ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ (316L) ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಒಳ ಗೋಡೆಗಳೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಹೀಲಿಯಂ (He) ಸಿಸ್ಟಮ್ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು 00Cr17Ni12Mo2Ti ಕಡಿಮೆ-ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ (316L) ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಒಳ ಗೋಡೆಗಳೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಶುದ್ಧ ಒಣ ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ (CDA) ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು OCr18Ni9 ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ (304) ಹೊಳಪುಳ್ಳ ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಗಳೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಉಸಿರಾಟದ ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ (BA) ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು OCr18Ni9 ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ (304) ನಯಗೊಳಿಸಿದ ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಗಳೊಂದಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಬಾಲ್ ಕವಾಟಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿರ್ವಾತ (PV) ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು UPVC ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನಿಂದ ಮಾಡಿದ ನಿರ್ವಾತ ಬಟರ್‌ಫ್ಲೈ ಕವಾಟಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ನಿರ್ವಾತ (HV) ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು UPVC ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನಿಂದ ಮಾಡಿದ ನಿರ್ವಾತ ಬಟರ್‌ಫ್ಲೈ ಕವಾಟಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಪೈಪ್‌ಗಳು ಎಲ್ಲಾ 00Cr17Ni12Mo2Ti ಕಡಿಮೆ-ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಂದ (316L) ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡಿದ ಒಳ ಗೋಡೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿವೆ ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳು ಅದೇ ವಸ್ತುವಿನ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಬೆಲ್ಲೋಸ್ ಕವಾಟಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ.

3 ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳ ನಿರ್ಮಾಣ ಮತ್ತು ಸ್ಥಾಪನೆ
3.1 "ಕ್ಲೀನ್ ಫ್ಯಾಕ್ಟರಿ ಬಿಲ್ಡಿಂಗ್ ಡಿಸೈನ್ ಕೋಡ್" ನ ಸೆಕ್ಷನ್ 8.3 ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ಸಂಪರ್ಕಗಳಿಗೆ ಈ ಕೆಳಗಿನ ನಿಬಂಧನೆಗಳನ್ನು ನಿಗದಿಪಡಿಸುತ್ತದೆ:
(1) ಪೈಪ್ ಸಂಪರ್ಕಗಳನ್ನು ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಬೇಕು, ಆದರೆ ಹಾಟ್-ಡಿಪ್ ಕಲಾಯಿ ಉಕ್ಕಿನ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು ಥ್ರೆಡ್ ಮಾಡಬೇಕು. ಥ್ರೆಡ್ ಮಾಡಿದ ಸಂಪರ್ಕಗಳ ಸೀಲಿಂಗ್ ವಸ್ತುವು ಈ ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆಯ ಆರ್ಟಿಕಲ್ 8.3.3 ರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸಬೇಕು.
(2) ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು ಆರ್ಗಾನ್ ಆರ್ಕ್ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಬಟ್ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಸಾಕೆಟ್ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸಂಪರ್ಕಿಸಬೇಕು, ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳನ್ನು ಒಳಗಿನ ಗೋಡೆಯ ಮೇಲೆ ಗುರುತುಗಳಿಲ್ಲದೆ ಬಟ್ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಮೂಲಕ ಸಂಪರ್ಕಿಸಬೇಕು.
(3) ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ನಡುವಿನ ಸಂಪರ್ಕವು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಸಂಪರ್ಕದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸಬೇಕು. ಮೆದುಗೊಳವೆ ಸಂಪರ್ಕಗಳನ್ನು ಬಳಸುವಾಗ, ಲೋಹದ ಮೆದುಗೊಳವೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು.
(4) ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳ ನಡುವಿನ ಸಂಪರ್ಕವು ಈ ಕೆಳಗಿನ ನಿಯಮಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸಬೇಕು.

① ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕವಾಟಗಳನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸುವ ಸೀಲಿಂಗ್ ವಸ್ತುವು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಪ್ರಕಾರ ಲೋಹದ ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಡಬಲ್ ಫೆರುಲ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು.
②ಥ್ರೆಡ್ ಅಥವಾ ಫ್ಲೇಂಜ್ ಸಂಪರ್ಕದಲ್ಲಿರುವ ಸೀಲಿಂಗ್ ವಸ್ತುವು ಪಾಲಿಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೋಎಥಿಲೀನ್ ಆಗಿರಬೇಕು.
3.2 ವಿಶೇಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಬಂಧಿತ ತಾಂತ್ರಿಕ ಕ್ರಮಗಳ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಸಾಧ್ಯವಾದಷ್ಟು ಬೆಸುಗೆ ಹಾಕಬೇಕು. ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನೇರ ಬಟ್ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಬೇಕು. ಪೈಪ್ ತೋಳುಗಳು ಅಥವಾ ಮುಗಿದ ಕೀಲುಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು. ಪೈಪ್ ತೋಳುಗಳನ್ನು ಪೈಪ್‌ಗಳಂತೆಯೇ ಅದೇ ವಸ್ತು ಮತ್ತು ಒಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಮೃದುತ್ವದಿಂದ ಮಾಡಬೇಕು. ಮಟ್ಟ, ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಭಾಗದ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು, ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಪೈಪ್‌ಗೆ ಶುದ್ಧ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಅನಿಲವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಬೇಕು. ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳಿಗೆ, ಆರ್ಗಾನ್ ಆರ್ಕ್ ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು ಮತ್ತು ಅದೇ ಶುದ್ಧತೆಯ ಆರ್ಗಾನ್ ಅನಿಲವನ್ನು ಪೈಪ್‌ಗೆ ಪರಿಚಯಿಸಬೇಕು. ಥ್ರೆಡ್ ಸಂಪರ್ಕ ಅಥವಾ ಥ್ರೆಡ್ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು. ಫ್ಲೇಂಜ್‌ಗಳನ್ನು ಸಂಪರ್ಕಿಸುವಾಗ, ಥ್ರೆಡ್ ಸಂಪರ್ಕಗಳಿಗೆ ಫೆರುಲ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು. ಆಮ್ಲಜನಕ ಪೈಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಪೈಪ್‌ಗಳನ್ನು ಹೊರತುಪಡಿಸಿ, ಲೋಹದ ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು, ಇತರ ಪೈಪ್‌ಗಳು ಪಾಲಿಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೋಎಥಿಲೀನ್ ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು. ಗ್ಯಾಸ್ಕೆಟ್‌ಗಳಿಗೆ ಸಣ್ಣ ಪ್ರಮಾಣದ ಸಿಲಿಕೋನ್ ರಬ್ಬರ್ ಅನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸುವುದು ಸಹ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಸೀಲಿಂಗ್ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಿ. ಫ್ಲೇಂಜ್ ಸಂಪರ್ಕಗಳನ್ನು ಮಾಡಿದಾಗ ಇದೇ ರೀತಿಯ ಕ್ರಮಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಬೇಕು.
ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಕಾರ್ಯ ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುವ ಮೊದಲು, ಪೈಪ್‌ಗಳ ವಿವರವಾದ ದೃಶ್ಯ ಪರಿಶೀಲನೆ,ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್‌ಗಳು, ಕವಾಟಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಕೈಗೊಳ್ಳಬೇಕು. ಸಾಮಾನ್ಯ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ ಪೈಪ್‌ಗಳ ಒಳ ಗೋಡೆಯನ್ನು ಅನುಸ್ಥಾಪನೆಯ ಮೊದಲು ಉಪ್ಪಿನಕಾಯಿ ಮಾಡಬೇಕು. ಆಮ್ಲಜನಕ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳ ಪೈಪ್‌ಗಳು, ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್‌ಗಳು, ಕವಾಟಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಎಣ್ಣೆಯಿಂದ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ನಿಷೇಧಿಸಬೇಕು ಮತ್ತು ಅನುಸ್ಥಾಪನೆಯ ಮೊದಲು ಸಂಬಂಧಿತ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಪ್ರಕಾರ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಡಿಗ್ರೀಸ್ ಮಾಡಬೇಕು.
ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸುವ ಮತ್ತು ಬಳಕೆಗೆ ತರುವ ಮೊದಲು, ಪ್ರಸರಣ ಮತ್ತು ವಿತರಣಾ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ವಿತರಿಸಲಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲದಿಂದ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಶುದ್ಧೀಕರಿಸಬೇಕು. ಇದು ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಆಕಸ್ಮಿಕವಾಗಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗೆ ಬಿದ್ದ ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳನ್ನು ಸ್ಫೋಟಿಸುವುದಲ್ಲದೆ, ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಒಣಗಿಸುವ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಪೈಪ್ ಗೋಡೆಯಿಂದ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲ್ಪಟ್ಟ ತೇವಾಂಶ-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಅನಿಲದ ಭಾಗವನ್ನು ಮತ್ತು ಪೈಪ್ ವಸ್ತುವನ್ನು ಸಹ ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ.

4. ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ಒತ್ತಡ ಪರೀಕ್ಷೆ ಮತ್ತು ಸ್ವೀಕಾರ
(1) ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಸ್ಥಾಪಿಸಿದ ನಂತರ, ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ವಿಷಕಾರಿ ದ್ರವಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸುವ ಪೈಪ್‌ಗಳ 100% ರೇಡಿಯೋಗ್ರಾಫಿಕ್ ತಪಾಸಣೆಯನ್ನು ಕೈಗೊಳ್ಳಬೇಕು ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಗುಣಮಟ್ಟ II ನೇ ಹಂತಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರಬಾರದು. ಇತರ ಪೈಪ್‌ಗಳು ಮಾದರಿ ರೇಡಿಯೋಗ್ರಾಫಿಕ್ ಪರಿಶೀಲನೆಗೆ ಒಳಪಟ್ಟಿರಬೇಕು ಮತ್ತು ಮಾದರಿ ತಪಾಸಣೆ ಅನುಪಾತವು 5% ಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರಬಾರದು, ಗುಣಮಟ್ಟವು ಗ್ರೇಡ್ III ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರಬಾರದು.
(2) ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲದ ತಪಾಸಣೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ತೀರ್ಣರಾದ ನಂತರ, ಒತ್ತಡ ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ನಡೆಸಬೇಕು. ಪೈಪಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಶುಷ್ಕತೆ ಮತ್ತು ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಹೈಡ್ರಾಲಿಕ್ ಒತ್ತಡ ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ನಡೆಸಬಾರದು, ಆದರೆ ನ್ಯೂಮ್ಯಾಟಿಕ್ ಒತ್ತಡ ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು. ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯ ಶುಚಿತ್ವ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುವ ಸಾರಜನಕ ಅಥವಾ ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿಯನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಗಾಳಿಯ ಒತ್ತಡ ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ನಡೆಸಬೇಕು. ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ನ ಪರೀಕ್ಷಾ ಒತ್ತಡವು ವಿನ್ಯಾಸ ಒತ್ತಡದ 1.15 ಪಟ್ಟು ಇರಬೇಕು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್‌ನ ಪರೀಕ್ಷಾ ಒತ್ತಡವು 0.2MPa ಆಗಿರಬೇಕು. ಪರೀಕ್ಷೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕ್ರಮೇಣ ಮತ್ತು ನಿಧಾನವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸಬೇಕು. ಪರೀಕ್ಷಾ ಒತ್ತಡದ 50% ಕ್ಕೆ ಒತ್ತಡವು ಏರಿದಾಗ, ಯಾವುದೇ ಅಸಹಜತೆ ಅಥವಾ ಸೋರಿಕೆ ಕಂಡುಬಂದಿಲ್ಲದಿದ್ದರೆ, ಪರೀಕ್ಷಾ ಒತ್ತಡದ 10% ರಷ್ಟು ಒತ್ತಡವನ್ನು ಹಂತ ಹಂತವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದನ್ನು ಮುಂದುವರಿಸಿ ಮತ್ತು ಪರೀಕ್ಷಾ ಒತ್ತಡದವರೆಗೆ ಪ್ರತಿ ಹಂತದಲ್ಲಿ 3 ನಿಮಿಷಗಳ ಕಾಲ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಿ. 10 ನಿಮಿಷಗಳ ಕಾಲ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸಿ, ನಂತರ ವಿನ್ಯಾಸ ಒತ್ತಡಕ್ಕೆ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ. ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆಯ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಒತ್ತಡದ ನಿಲುಗಡೆ ಸಮಯವನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸಬೇಕು. ಯಾವುದೇ ಸೋರಿಕೆ ಇಲ್ಲದಿದ್ದರೆ ಫೋಮಿಂಗ್ ಏಜೆಂಟ್ ಅರ್ಹವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
(3) ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಒತ್ತಡ ಪರೀಕ್ಷೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ತೀರ್ಣರಾದ ನಂತರ, ವಿನ್ಯಾಸ ದಾಖಲೆಗಳ ಪ್ರಕಾರ ಅದು 24-ಗಂಟೆಗಳ ನಿರ್ವಾತ ಪದವಿ ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ಸಹ ನಡೆಸಬೇಕು ಮತ್ತು ಒತ್ತಡದ ದರವು 5% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿರಬಾರದು.
(4) ಸೋರಿಕೆ ಪರೀಕ್ಷೆ. ಪಿಪಿಬಿ ಮತ್ತು ಪಿಪಿಟಿ ದರ್ಜೆಯ ಪೈಪ್‌ಲೈನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಗೆ, ಸಂಬಂಧಿತ ವಿಶೇಷಣಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ಯಾವುದೇ ಸೋರಿಕೆಯನ್ನು ಅರ್ಹವೆಂದು ಪರಿಗಣಿಸಬಾರದು, ಆದರೆ ವಿನ್ಯಾಸದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸೋರಿಕೆ ಪ್ರಮಾಣ ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಂದರೆ, ಗಾಳಿಯ ಬಿಗಿತ ಪರೀಕ್ಷೆಯ ನಂತರ ಸೋರಿಕೆ ಪ್ರಮಾಣ ಪರೀಕ್ಷೆಯನ್ನು ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಒತ್ತಡವು ಕೆಲಸದ ಒತ್ತಡವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಒತ್ತಡವನ್ನು 24 ಗಂಟೆಗಳ ಕಾಲ ನಿಲ್ಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸರಾಸರಿ ಗಂಟೆಯ ಸೋರಿಕೆ ಅರ್ಹತೆಯಂತೆ 50 ಪಿಪಿಎಂ ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಅಥವಾ ಸಮಾನವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಸೋರಿಕೆಯ ಲೆಕ್ಕಾಚಾರವು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿರುತ್ತದೆ:
ಎ=(1-ಪಿ2ಟಿ1/ಪಿ1ಟಿ2)*100/ಟಿ
ಸೂತ್ರದಲ್ಲಿ:
ಒಂದು-ಗಂಟೆಯ ಸೋರಿಕೆ (%)
ಪರೀಕ್ಷೆಯ ಆರಂಭದಲ್ಲಿ P1- ಸಂಪೂರ್ಣ ಒತ್ತಡ (Pa)
ಪರೀಕ್ಷೆಯ ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ P2- ಸಂಪೂರ್ಣ ಒತ್ತಡ (Pa)
ಪರೀಕ್ಷೆಯ ಆರಂಭದಲ್ಲಿ T1- ಸಂಪೂರ್ಣ ತಾಪಮಾನ (K)
ಪರೀಕ್ಷೆಯ ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ T2- ಸಂಪೂರ್ಣ ತಾಪಮಾನ (K)